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爱普生音叉晶体与石英光刻技术起源

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浏览:- 发布日期:2018-09-01 15:46:09【
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应用到石英水晶组件的光刻技术大约是上个世纪60~70年代之间,当时第一个利用这种工艺的是美国Statek晶振公司,并且取得不错的成绩。当时精工爱普生晶振公司董事长服部一郎,正在为如何生产更小,更高精度,更低成本的设备而煞费苦心,却始终理不清头绪。听闻此消息,董事长服部一郎立刻搭乘飞机前往美国,了解到光刻技术一些资料,回国后立刻召集相关技术人员和管理者,商讨研发光刻技术和如何运用到音叉晶体生产计划中去。1970年精工爱普生公司研发部门开始极其用心的钻研,光刻技术最开始是IC最重要的制造工艺,通过应用摄影曝光技术创造微观图案。

爱普生音叉晶体与石英光刻技术起源

在决定把光刻加入到石英晶体生产流程时,精工爱普生公司也在担心,这项技术是否真的合适用在32.768K晶振身上,为了研究透彻,内部很快成立了一个部门,专门开发应用到石英晶体谐振器身上的光刻技术。实行了基本的实验之后,工程发现这真的非常了不起的决定,因为使用了光刻技术制造晶体之后,比他们原来的机械速度提升了10倍左右,令他们感到非常的诧异和兴奋。

实验结果出来后,所有参与人员无不认为这是一项值得他们继续开发,潜力非常的新工艺,但即使这样,这项还不算成熟的技艺还不能立刻使用。两年后他们终于在这项技术上,有了非常大的突破,发现了一种可专门运用到音叉表晶的新电极结构,光刻技术的问题是CI值太高。但是,只有在可以清除障碍的情况下,才能获得高流程精度所带来的全部优势。原本阻碍他们的困难一下子被移除了,并且可以为他们的石英晶振产出许多种有友好有益的波纹效应,能在引线端子上完成气密密封,这样一来可以使晶体的尺寸做到更小,同时还能降低成本预算。

爱普生音叉晶体与石英光刻技术起源

1975年已经投入到C-002RX晶振的生产当中,这是全球第一款使用光刻技术量产的圆柱晶振,尺寸是2.0*6.0mm,可以说是举世瞩目的成功。这样令业界震撼之后,另一个难题也悄然而至。这项技术虽然使精工爱普生公司的产量大增,成本也大幅度下降,但是生产出来的晶体质量太差,每10颗晶体几乎会有9个有问题,每月至少要量产50000颗,才能保障市场需求。

为此,研发部门和生产部门忙碌的应对和去找原因,渐渐的开始怀疑当初采用光刻技术的决定是否错误,是不是应该用来以前机械加工,各大部门都承受着不小的压力。不得以又重新组建团队,为找出问题所在,以及提高晶振质量和产量的方法,成立团队后,第一件事就是找到产量降低的原因。经小组研究过后,发现有缺陷的产品有许多针孔,是因为石英材料在刻蚀过程中产生的,尝试通过蚀刻去除石英晶片的整个表面层,然后在顶部形成膜。有效!没有形成单个针孔!此前,该过程涉及在粗糙表面层的顶部形成膜,并且这导致了许多针孔。

爱普生音叉晶体与石英光刻技术起源

1976年经过多重波折的C-002RX晶振终于开始销售,EPSON晶振是一家不畏艰难,不不惧怕挑战的世界一流晶体制造商,几十年来遇到的问题均迎刃而解。一直关注着世界科技的发展,时刻为研发适用新产品的贴片晶振,插件晶振而准备着,直到今天,仍保持着全球晶振NO.1的地位,走在业界的前端。

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